Plateforme d'Innovation en Micro Et Nano-Technologies (PIMENT)
La plateforme PIMENT propose un ensemble complet d'équipements à la pointe de la technologie et à hautes performances, permettant de développer des recherches allant de la physique quantique fondamentale aux dispositifs intégrés avancés ou aux micro-nanosystèmes. Son personnel soutient le développement des processus nécessaires aux activités de recherche en laboratoire. La plateforme a été organisée en quatre pôles principaux correspondant aux technologies clés : la lithographie, la gravure, le dépôt de couches minces et la mesure et le contrôle. La plateforme PIMENT, comme le reste de la Centrale de Technologie, fait partie de RENATECH, le réseau national des Centrales de Technologies du domaine des micro-nanotechnologies piloté par le CNRS.
Lithographie
Lithographies électroniques, optiques/UV et émergentes
