Aligner Süss MJB3 2
Mask aligner system / SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH*
Contacts : BOUVILLE David
/ BOUVILLE David
Location : N.C.
teaching equipement
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Caractéristiques
- Wave length : broad band
- Resolution : 2 microns
- Min sample size : 5mm
- Max sample size : 2"