Aligneur deep UV EVG620
Mask aligner Deep UV / EVG
Contacts : EDMOND Samson
/ BOUVILLE David
Location : SB021-E332
Mask aligner Deep UV
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Aligneur deep UV EVG620
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EVG 620 Deep UV
Caractéristiques
- Wave length : 248nm
- Resolution : 400 nm
- Power : 9.5
- Mode : Proximity, Hard, Vacuum, VH contact, Soft
