Aligner Süss MJB4 2
Mask aligner system / SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH*
Contacts : ENOS Morgane
/ BOUVILLE David
Location : E331
Suss Microtec lithography
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MJB4_2
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MJB4-2
Caractéristiques
- Resolution : 1 micron
- Wave length : broad band
- Power : 10 mW
- Min sample size : 5mm
- Max sample size : 4"
