Centre for Nanoscience
and Nanotechnology

  • CNRS
  • UPSaclay
  • UParis

PIMENT Platform

Aligneur Suss_MJB4-2

Suss Microtec lithography   /   SussMicrotec

Contacts :   ENOS   Morgane     /   BOUVILLE   David

Suss Microtec lithography

  • Space
    MJB4_2
  • Space
    MJB4-2

Caractéristiques

  • Resolution   :   1 micron
  • Wave length   :   broad band
  • Power   :   10 mW
  • Min sample size   :   5mm
  • Max sample size   :   4"