Aligneur double face EVG620

Mask aligner double side   /   EVG

Contacts :   BOUVILLE   David     /   EDMOND   Samson

Mask aligner double side lamp Hg lengwave 365 nm

  • Space
    EVG 620 Double Face

Caractéristiques

  • Wave length   :   365 nm
  • Resolution   :   1 µm
  • Power   :   5.84 mW/cm2
  • Mode   :   Proximity, Hard, Vacuum, VH contact, Soft
  • Substrates   :   Pieces of sample until 6 inches
Expertises

S1813

S1813

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Contacts : david

AZ4562

AZ4562

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Contacts : david

AZ 40XT

Resist AZ 40XT

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Contacts : .

Applications

mems, photonics

résonator

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Contacts : david