Electron Beam Evaporator MEB 550S

Electron beam evaporator metallic thin films   /   Plassys

Contacts :   BAPTISTE   Teo     /   AASSIME   Abdelhanin

The Plassys MEB550S evaporator is an equipment allowing the deposition of thin metallic layers on various substrates from cm2 to 4".

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    Electron Beam Evaporator MEB 550S
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    Electron Beam Evaporator MEB 550S

Caractéristiques

  • Available Metals   :   Al, Au, Ge, Ni, Pd, Ti
  • Working pressure   :   10-7 mbar
  • Max sample size   :   4"
  • Crucible size   :   15 cc
  • Gas Line   :   Ar, N2
  • Ion cannon   :   homogeneous on 3"
  • Tilt   :   Yes
Applications

Dépôts métalliques

Contact Ohmique, Getter, masques gravure

Contacts : Abdelhanin AASSIME

Dépôts métalliques

Dépôts granulaires

Contacts : Abdelhanin AASSIME

Dépôts métalliques

Plasmionique guidée : Chaine de 50 ellipses d’Or sur un guide SiN. Les ellipses ont été obtenues après le lift-off Ti/Au (1nm/ 30nm) .

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Contacts : Béatrice Dagens

Dépôts métalliques

Soudure par thermo-compression

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Contacts : Adel Bousseksou