Centre for Nanoscience
and Nanotechnology

  • CNRS
  • UPSaclay
  • UParis

PIMENT Platform

Plassys MEB 550SLX e-beam evaporator

Electron beam evaporator metallic thin films   /   Plassys

Contacts :   COURAUD   Laurent  

  • Space
    Plassys MEB 550SLX e-beam evaporator
  • Space
    MEB 550SLX

Caractéristiques

  • Electron gun   :   8kW
  • Crucible size   :   8 x 15cc
  • Materials   :   Ti, Au, Ni, Ge, Cr, Al
  • Quartz number   :   6
  • Ion source   :   10cm
  • Limit vacuum   :   9E-9 mbars
  • Gas Line   :   Ar, N2