RTA Jipelec JetFirst

Rapid Thermal Annealing equipment   /   JIPELEC

Contacts :   VILLEBASSE   Cedric     /   MAILLARD   François

  • Space
    RTA Jipelec

Caractéristiques

  • Max temperature   :   up to 1000°C (30" max.)
  • Gas Line   :   N2, O2, ArH2
  • Type of substrate holder   :   Graphite susceptor (w/ Lid)
  • Max sample size   :   4 inches
  • Vacuum   :   primary pumping available